ウェーハ検査用プローブ

当社のウェーハ検査用プローブのご紹介ページです。お客様のご要求に答えるべく、30種類以上のプローブヘッドの設計がございます。より正確な検査を実現するため、お客様の要求仕様にマッチしたご提案をしております。

半導体市場におけるウエハーレベルCSPの大きな成長に合わせて、C.C.Pは市場の需要に応えるべく30種類以上のプローブヘッドを設計してきました。また、当社のプローブの設計によって、プローブヘッドの耐久性を向上させることができます。さらに、動作ストロークを250umに設計した弊社のコンタクトプローブを使えば、異なるサイズの半田ボールによって引き起こされる共平面性のエラーも回避することができます。弊社では、お客様のニーズに合うよう、幅広い種類のプローブヘッドの中から最適なものをご提案いたします。

設計コンセプト

最高の品質を達成するため、C.C.P.はツガミのCNC旋盤を所有しています。そのため弊社では正確な位置に精巧な穴を開けることができます。弊社で開けることのできる最小サイズの穴はφ60umです。

プローブヘッド仕様

最小ピッチ 0.15mm
最大位置数 32箇所
上部ハウジング材料 Photoveel®/VESPEL® SCP5000
搭載プレート材料

トーロン®5530

下部ハウジング材料 VESPEL® SCP5000
製品寿命(ピン) >300,000

プローブの仕様

PE4-028DE09-01A0

材質

上プランジャー Pd合金
バレル Ni合金
スプリング SWP、金メッキ
下プランジャー Pd合金

機械的仕様

推奨ストローク 0.18mm
最大ストローク 0.85mm
スプリング力 6g±20%@0.55mm
動作温度 -15℃~125℃

電気的仕様(ピッチ:0.3mm ソケット素材:PEEK1,000)

定格電流 0.2A連続
接触抵抗 <500mΩ(平均)
特性インピーダンス 91.77Ω
挿入損失 -1dB@3.76GHz
リターンロス -20dB@0.72GHz
遅延時間 34.87psec
ループインダクタンス 3.2nH
キャパシタンス 0.38pF

PE3-013DS53-01F0

材質

上プランジャー Pd合金
バレル Ni合金
スプリング SWP、金メッキ
下プランジャー Pd合金

機械的仕様

推奨ストローク 0.55mm
最大ストローク 0.85mm
スプリング力 7g±20%@0.55mm
動作温度 -15℃~125℃

電気的仕様(ピッチ:0.3mm ソケット素材:PEEK1,000)

定格電流 0.4A連続
接触抵抗 <500mΩ(平均)
特性インピーダンス 91.3Ω
挿入損失 -1dB@1.47GHz
リターンロス -20dB@0.43GHz
遅延時間 42.9psec
ループインダクタンス 3.92nH
キャパシタンス 0.47pF

PE3-020DS53-01A0

材質

上プランジャー Pd合金
バレル PhBz、金メッキ
スプリング SWP、金メッキ
下プランジャー BeCu、金メッキ

機械的仕様

推奨ストローク 0.55mm
最大ストローク 0.90mm
スプリング力 25g±20%@0.55mm
動作温度 -15℃~125℃

電気的仕様(ピッチ:0.4mm ソケット素材:PEEK1,000)

定格電流 0.6A連続
接触抵抗 <300mΩ(平均)
特性インピーダンス 66.62Ω
挿入損失 -1dB@  >20GHz
リターンロス -20dB@1.84GHz
遅延時間 37.97psec
ループインダクタンス 2.32nH
キャパシタンス 0.57pF

PE3-030EF53-01A0

材質

上プランジャー Pd合金
バレル PhBz、金メッキ
スプリング SWP、金メッキ
下プランジャー BeCu、金メッキ

機械的仕様

推奨ストローク 0.55mm
最大ストローク 0.90mm
スプリング力 25g±20%@0.55mm
動作温度 -15℃~125℃

電気的仕様(ピッチ:0.4mm ソケット素材:PEEK1,000)

定格電流 1A連続
接触抵抗 <175mΩ(平均)
特性インピーダンス 42.3Ω
挿入損失 -1dB@  >20GHz
リターンロス -20dB@3GHz
遅延時間 34.7psec
ループインダクタンス 1.47nH
キャパシタンス 0.82pF

その他の仕様

上記に記載の製品は、一部のみでございます。

お探しの製品がございましたら、当社営業までお気軽にお問い合わせをお願い致します。

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