ウェーハ検査用プローブ
当社のウェーハ検査用プローブのご紹介ページです。お客様のご要求に答えるべく、30種類以上のプローブヘッドの設計がございます。より正確な検査を実現するため、お客様の要求仕様にマッチしたご提案をしております。
半導体市場におけるウエハーレベルCSPの大きな成長に合わせて、C.C.Pは市場の需要に応えるべく30種類以上のプローブヘッドを設計してきました。また、当社のプローブの設計によって、プローブヘッドの耐久性を向上させることができます。さらに、動作ストロークを250umに設計した弊社のコンタクトプローブを使えば、異なるサイズの半田ボールによって引き起こされる共平面性のエラーも回避することができます。弊社では、お客様のニーズに合うよう、幅広い種類のプローブヘッドの中から最適なものをご提案いたします。
設計コンセプト
最高の品質を達成するため、C.C.P.はツガミのCNC旋盤を所有しています。そのため弊社では正確な位置に精巧な穴を開けることができます。弊社で開けることのできる最小サイズの穴はφ60umです。


プローブヘッド仕様
最小ピッチ |
0.15mm |
最大位置数 |
32箇所 |
上部ハウジング材料 |
Photoveel®/VESPEL® SCP5000 |
搭載プレート材料 |
トーロン®5530
|
下部ハウジング材料 |
VESPEL® SCP5000 |
製品寿命(ピン) |
>300,000 |
プローブの仕様
PE4-028DE09-01A0

材質
上プランジャー |
Pd合金 |
バレル |
Ni合金 |
スプリング |
SWP、金メッキ |
下プランジャー |
Pd合金 |
機械的仕様
推奨ストローク |
0.18mm |
最大ストローク |
0.85mm |
スプリング力 |
6g±20%@0.55mm |
動作温度 |
-15℃~125℃ |
電気的仕様(ピッチ:0.3mm ソケット素材:PEEK1,000)
定格電流 |
0.2A連続 |
接触抵抗 |
<500mΩ(平均) |
特性インピーダンス |
91.77Ω |
挿入損失 |
-1dB@3.76GHz |
リターンロス |
-20dB@0.72GHz |
遅延時間 |
34.87psec |
ループインダクタンス |
3.2nH |
キャパシタンス |
0.38pF |
PE3-013DS53-01F0

材質
上プランジャー |
Pd合金 |
バレル |
Ni合金 |
スプリング |
SWP、金メッキ |
下プランジャー |
Pd合金 |
機械的仕様
推奨ストローク |
0.55mm |
最大ストローク |
0.85mm |
スプリング力 |
7g±20%@0.55mm |
動作温度 |
-15℃~125℃ |
電気的仕様(ピッチ:0.3mm ソケット素材:PEEK1,000)
定格電流 |
0.4A連続 |
接触抵抗 |
<500mΩ(平均) |
特性インピーダンス |
91.3Ω |
挿入損失 |
-1dB@1.47GHz |
リターンロス |
-20dB@0.43GHz |
遅延時間 |
42.9psec |
ループインダクタンス |
3.92nH |
キャパシタンス |
0.47pF |
PE3-020DS53-01A0

材質
上プランジャー |
Pd合金 |
バレル |
PhBz、金メッキ |
スプリング |
SWP、金メッキ |
下プランジャー |
BeCu、金メッキ |
機械的仕様
推奨ストローク |
0.55mm |
最大ストローク |
0.90mm |
スプリング力 |
25g±20%@0.55mm |
動作温度 |
-15℃~125℃ |
電気的仕様(ピッチ:0.4mm ソケット素材:PEEK1,000)
定格電流 |
0.6A連続 |
接触抵抗 |
<300mΩ(平均) |
特性インピーダンス |
66.62Ω |
挿入損失 |
-1dB@ >20GHz |
リターンロス |
-20dB@1.84GHz |
遅延時間 |
37.97psec |
ループインダクタンス |
2.32nH |
キャパシタンス |
0.57pF |
PE3-030EF53-01A0

材質
上プランジャー |
Pd合金 |
バレル |
PhBz、金メッキ |
スプリング |
SWP、金メッキ |
下プランジャー |
BeCu、金メッキ |
機械的仕様
推奨ストローク |
0.55mm |
最大ストローク |
0.90mm |
スプリング力 |
25g±20%@0.55mm |
動作温度 |
-15℃~125℃ |
電気的仕様(ピッチ:0.4mm ソケット素材:PEEK1,000)
定格電流 |
1A連続 |
接触抵抗 |
<175mΩ(平均) |
特性インピーダンス |
42.3Ω |
挿入損失 |
-1dB@ >20GHz |
リターンロス |
-20dB@3GHz |
遅延時間 |
34.7psec |
ループインダクタンス |
1.47nH |
キャパシタンス |
0.82pF |
その他の仕様
上記に記載の製品は、一部のみでございます。
お探しの製品がございましたら、当社営業までお気軽にお問い合わせをお願い致します。
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